利用非破壞、非接觸的方式進行工件鍍層厚度的量測。利用 X 射線的能量激發樣品中的金屬元素，使它產生特徵螢光X射線，通過檢測器檢測到螢光的強度來計算金屬鍍層的厚度。檢測的範圍大約從 0.01μm 到 100μm，根據元素不同會有所差異。